Photonixで最新の4K UV露光ヘッドを紹介

同展示会は、先端半導体製造や精密光学分野における重要なイノベーションハブであり、本プラットフォームが持つ実証済みの信頼性と、アジア太平洋地域での量産対応力を示す絶好の機会となります。

本プラットフォームは高精細・高信頼のUVイメージングを実現し、精度とスループットが求められる産業用途に最適化されています。

  • 産業用途で実証済みの性能: 世界各地で数年にわたり連続稼働し、高い歩留まりと安定性を実現。
  • リアル4K解像度: 次世代製品ロードマップに対応するネイティブ4K技術。
  • 高スループット:一貫した光学性能とスケーラブルなスループットを実現する高精度UVイメージングプラットフォーム。

LRS-MCx 4K露光ヘッドは、高スループットUV露光システム向けに設計されており、一貫した光学性能、スクロール方式によるスケーラブルな構成、そして堅牢な長期運用を実現します。要求の厳しい生産環境に適したプラットフォームです。

Visitech Japan マネージングディレクターの大原一浩は次のように述べています。

「信頼できるパートナーである丸文チームと密接に協業することで、日本のお客様は当社4Kプラットフォームの世界水準の精度に加え、迅速で質の高い日本での営業・技術サポートを行っております。本システムは、今日の厳しい製造要求に応える信頼性を備えており、お客様が短時間に歩留まりとスループットの目標を達成できるよう支援します。」

丸文ブースにてLRS-MCx 4Kサブシステム(露光ヘッド)のライブデモをご覧いただけます。

展示場所は以下の通りです。

会場:幕張メッセ(千葉/東京)
ホール:8
ブース番号:49-1
開催日程:2025年11月12日〜14日